各设备建议收费标准
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设备名 |
收费标准及方式（单位：元） |
备注 |
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Coater ST22＋ |
AZ4620胶: 2寸或小于2寸片30元/片；4寸片80元/片；6寸片150元/片。普通胶: 40元/片。（此收费标准只针对单独涂胶工艺） |
单独的涂胶工艺不优惠，特殊光刻胶收费另议 |
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小匀胶台 KW |
AZ4620胶: 2寸或小于2寸片30元/片；4寸片80元/片；6寸片150元/片。普通胶: 30元/片。（此收费只针对单独涂胶工艺） |
单独的涂胶工艺不优惠，特殊光刻胶收费另议 |
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Track KS-L150 |
60元/片（此收费只针对单独涂胶工艺） |
单独的涂胶工艺不优惠，特殊光刻胶收费另议 |
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喷胶机 ST20i |
400元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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显影机 OPTIspin ST22 |
240元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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光刻机MA6/BA6 |
800元/小时，包括光刻胶费用 |
30分钟为基本时间单元 |
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光刻机 URE-2000/35 |
400元/小时，包括光刻胶费用 |
30分钟为基本时间单元 |
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Stepper NSR1755i7B |
1200元/小时,包括光刻胶费用 |
30分钟为基本时间单元 |
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电子束光刻机 JBX-5500ZA |
800元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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等离子去胶机 M |
150元/小时 |
15分钟为基本时间单元 |
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晶片键合机 CB |
阳极键合、共晶键合，1小时以内500元/对。超过1小时部分，按照500元/小时计算,以15分钟为计费单元。不包括对准收费。 |
60分钟为基本时间单元 |
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IBE IBE-A-150 |
400元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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RIE Tegal903e |
500元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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深硅刻蚀 STS MPX HRM |
900元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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III-V刻蚀 ICP 180 |
700元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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SEM JSM-6390 |
360元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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光学轮廓仪 NT1100 |
160元/小时 |
15分钟为基本时间单元 |
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台阶仪 Dektek 150 |
130元/小时 |
15分钟为基本时间单元 |
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膜厚仪 ST2000-DLX |
120元/小时 |
15分钟为基本时间单元 |
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分光光度计 Lambda 750 |
140/90元/小时 |
15分钟为基本时间单元。90元收费仅限于纳米所内没有分光光度计的部门的用户。 |
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氧化炉 HDC |
通工艺气体时收费为600元/小时，升降温时间为300元/小时。 |
60分钟为基本时间单元 |
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电子束蒸发（金属） ei-5z |
大夹具(180片2寸) Au及合金: 600元/小时＋300元/次工艺＋250元/层＋150元/10nm； 其它金属(Al,Cr,Ni等): 600元/小时＋320元/次工艺＋200元/100nm。 小夹具(3片2寸)： 600元/小时＋300元/次工艺＋250元/层＋80元/10nm； 其它金属(Al,Cr,Ni等): 600元/小时＋320元/次工艺＋100元/100nm。 |
30分钟为基本时间单元 |
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小电子束蒸发 EBE-09 |
Au及合金: 280元/小时＋300元/次工艺＋160元/层＋45元/10nm； 其它金属(Al,Cr,Ni等): 280元/小时＋320元/次工艺＋60元/100nm。 |
30分钟为基本时间单元 |
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国产热蒸发台 EVA-09-2 |
230元/小时＋160元/次工艺＋37.5元/100nm（Au, AuSe）或50元/1000nm（In） |
30分钟为基本时间单元 |
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光学镀膜机 OTFC-900 |
1000元/小时＋470元/次工艺 |
30分钟为基本时间单元 |
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溅射台 LAB 18 |
450元/小时+300元/次工艺＋材料费: 50元/10nm(Au及合金、Pd)或75元/10nm(Pt) 或50元/100nm (其它材料) |
30分钟为基本时间单元 |
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FHR溅射台
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1000元/小时+300元/次工艺＋材料费: 30元/10nm(Au及合金、Pd等)或20元/100nm (其它材料) | 30分钟为基本时间单元 |
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PECVD |
800元/小时 |
15分钟为基本时间单元 |
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ICP-CVD
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900元/小时 |
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喷金装置 |
60元/次 |
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倒装焊机 FC150 |
1500元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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ATV回流炉 SRO702 |
220元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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引线机 747677E |
180元/时 |
15分钟为基本时间单元 |
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手动划片机 OSM-80TP-Y |
70元/小时＋10元/刀 |
15分钟为基本时间单元 |
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Loomis金刚刀解理机 Loomis LSD100 |
300元/小时 |
15分钟为基本时间单元 |
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Disco划片机 |
Disco DAD340收费标准：
周一至周三，软刀，切割玻璃、陶瓷 |
1小时内客户可以自由选择按刀（10刀起）计费或按时间计费 |
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裂片机 OBM-90TP |
400元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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LED芯片测试仪 WPS-1900 |
150元/小时 |
15分钟为基本时间单元 |
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激光解理机 Titan |
500元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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超声检测 D 9500 |
240元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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X-ray检测 XTV 160 |
400元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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电镀 |
设备使用费100元/小时，电镀液从平台购买 |
30分钟为基本时间单元 |
| 推拉力测试 | 120元/小时 | 15分钟为基本时间单元 |
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翻膜机 |
不计费 |
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扩片机 |
不计费 |
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抛光机 AP |
320元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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研磨机 AL |
220元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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减薄机 HRG-150 |
160元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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快速退火炉 RTP-500 |
160元/小时,O2工艺200元/小时，O2流量不得大于2.5L/min |
30分钟为基本时间单元 |
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小管式退火炉 L L |
100元/小时 ，O2工艺180元/小时，O2流量不得大于2.5L/min |
60分钟为基本时间单元 |
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ESPEC高温厌氧实验箱 |
30元/小时 |
30分钟为基本时间单元 |
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8槽硅片清洗 HL-071004 |
不计费 |
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甩干机 CSE-SC-W006 |
不计费 |
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炉管清洗机 |
不计费 |
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Lift-off Wet SB 30 |
不计费 |
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收费说明：
1）进门刷卡费15元/次；
2）超净空间使用费80元/小时，30分钟为基本时间单元；
3）针对不同用户级别使用情况，70％－90％优惠；
4）不计费设备统一计算在超净空间使用费里，用户需登记使用；
5）用户完成每道工艺后按照收费标准直接计价，由申请人和工艺负责人签字
6）光学轮廓仪、台阶议、膜厚议和分光光度计计价不在工艺申请单上体现，采用软件计价方法，每个用户按照自己密码登录，软件自动按照用户名计费。
7）如实际使用时间少于预约时间，按预约时间收费，并由平台工艺人员在工艺单上计算出费用。
8）如使用设备时间超过预约时间，假如后面有人预约，前一个预约人员在征得后预约人员同意后可以继续使用设备，否则，无条件停止工艺执行。对于无法马上停止的工艺造成的后面预约用户时间延迟负责。
9）连续两道工艺之间预约时间相差2个小时以上。
10）工艺单必须由平台指定的各设备负责人签字后，由平台工作人员传递给下一个工作人员。
11）优惠对象仅限于平台培训过的用户自己操作工艺。
12）对于完全新的工艺，如客户提出由平台完成，客户必须和平台相关人员充分讨论，形成方案，协商价格，并经平台主任签字确认实施工艺，费用按协商价格收取。
13）关于工艺取消问题，如非平台原因，用户提前在1个工作日内电话或本人到张嫔处申请工艺预约取消，则不收取任何费用，如提前4小时取消，平台将收取50%的费用，其它情况收取全额费用。如果预约时间内没有及时赴约，超过15分钟后按照取消预预约处理。
14）委托平台工艺人员操作，用户可到平台门口送样品，打电话开门。
15）平台开放时间：
8：30－22：00（周一至周日全部开放）；
18：30－22：00及周六、周日主要开放用户为经培训能够自己操作用户；其他用户在此时间段使用设备需提前申请；
22：00以后可提前申请预约，但是收费不优惠。