针对应用基础和具有应用前景的科学与技术研究，集微米、纳米加工和检测手段于一体，具有先进的、有特色的加工装备的研究基地；具有开发微纳电子器件、微纳光电子器件、微纳光机电系统、生物传感器及生物芯片等多功能的技术支撑体系；具有孵化器功能，为企业全方位开放的服务体系；是为国家和企业的纳米科研和产业提供的人才培养基地，同时也是为企业家和科学家提供的一个思想交流的平台。目标是要建成具有国际先进水平的、面向国内外开放的纳米科学研究和成果转化的公共技术平台，提高研究所的核心竞争力，并有效改善江苏省的科研基础和科技创新环境。
     纳米加工平台作为支撑部门，是纳米所的公共资源，为各研究部项目的实施提供工艺条件，利用平台的公共服务和广泛接触的优势，为所属各类研发单元的有效合作提供建设性建议。纳米加工平台是一个公共的服务平台，具有广泛的服务对象，包括其它研究院所、全国各地大学和企业。在满足纳米所科研需求的前提下，大力开展周边科技服务，即面向地方和全国的产业需求,为现代制造业和高新技术产业发展提供技术服务、开发设计和信息咨询等科技服务业务。在产学研合作背景下，利用平台的设备和技术资源，积极与相关企业和科研机构建立密切的合作关系，共同承担各类科研开发项目，重点孵化一批地方政府招商引资中遇到的成熟度不高的项目，共同分享知识产权，助其迅速产业化。