纳米加工平台对研究所、高校和企业全方位开放。

申请使用纳米加工平台的单位、项目组或个人可以成立研发实验室、成立产品开发性公司、研制科研项目等各种方式使用平台，开放分成四个内容：

1）全方位对企业和科研单位开放的平台；

2）具有超净环境的服务平台；

3）提供给用户独立超净空间的服务平台；

4）集器件工艺加工、器件测试、器件封装、和失效、可靠性分析于一体的技术平台；

5）具有从微米到纳米加工能力的技术平台；

6）提供高层次人才培养的技术平台；

7）企业家和科学家的一个思想交流的平台。